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產(chǎn)品詳情產(chǎn)品參數(shù)樣品案例

產(chǎn)品介紹

在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)日益追求精度、效率和自動(dòng)化的今天，一臺(tái)高性能、高穩(wěn)定性的劃片設(shè)備，不僅決定了產(chǎn)線的良率，也關(guān)系到整條供應(yīng)鏈的運(yùn)行成本。BT6366 精密砂輪劃片機(jī)，正是為這一挑戰(zhàn)而生的專業(yè)級(jí)解決方案，全面覆蓋從晶圓裝片到成品卸片的每一個(gè)精密環(huán)節(jié)。

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一機(jī)多能，滿足多種高精度切割需求

BT6366 被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓、IC封裝（如QFN、DFN、BGA）、miniLED、太陽能電池片、電子基片、光學(xué)玻璃等行業(yè)的微細(xì)劃切任務(wù)，尤其擅長(zhǎng)對(duì)如下材料的穩(wěn)定加工：

* 硅（Silicon）
* 石英（Quartz）
* 氧化鋁 / 氧化鐵
* 藍(lán)寶石
* 砷化鎵（GaAs）
* 鈮酸鋰（LiNbO?）
* 光電玻璃、陶瓷等脆性材料

在高精度、高一致性、高產(chǎn)能的三重標(biāo)準(zhǔn)下，BT6366 憑借強(qiáng)大的核心配置和自動(dòng)化設(shè)計(jì)，已成為國內(nèi)外客戶信賴的核心設(shè)備。

核心優(yōu)勢(shì)：重新定義切割效率與精度

? 全流程自動(dòng)化，提高效率、減少人力

從裝片、視覺對(duì)準(zhǔn)、切割、清洗再到卸片，BT6366 實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化作業(yè)，極大地降低人工干預(yù)。搭配智能程序控制系統(tǒng)，支持批量任務(wù)快速切換，優(yōu)化整線生產(chǎn)節(jié)奏。

? 高性能對(duì)向雙主軸結(jié)構(gòu)，提升產(chǎn)能與壽命

采用Z1/Z2 雙主軸對(duì)向配置，每個(gè)主軸均為高功率空氣靜壓驅(qū)動(dòng)，具備更強(qiáng)負(fù)載與更小振動(dòng)，有效延長(zhǎng)刀具壽命并提高切割穩(wěn)定性。

? 配置NCS接觸檢測(cè)+高精度顯微鏡

每個(gè)主軸上配置有NCS自動(dòng)接觸檢測(cè)系統(tǒng)與專用顯微鏡視覺系統(tǒng)，大幅降低人工校準(zhǔn)時(shí)間，提升對(duì)準(zhǔn)精度，避免微米級(jí)誤差造成的不良率。

? 多材料適配能力，滿足復(fù)雜需求

從8英寸至12英寸晶圓，到各種定制化封裝材料，BT6366 都能靈活適應(yīng)，不再為材料切換頻繁而煩惱，是一機(jī)多用、降低設(shè)備投資成本的利器。

應(yīng)用行業(yè)廣泛，覆蓋從芯片到終端的關(guān)鍵工藝

BT6366 在多個(gè)高精度加工行業(yè)中表現(xiàn)優(yōu)異，是眾多半導(dǎo)體封測(cè)廠、光電組件廠、LED封裝廠、陶瓷加工廠的首選設(shè)備。

產(chǎn)品參數(shù)

項(xiàng)目	產(chǎn)品型號(hào)	BT6366 精密砂輪劃片機(jī)
	加工尺寸	≤?305mm/□260mm*260mm/定制
	運(yùn)動(dòng)方式	雙軸對(duì)向式、全自動(dòng)
X軸	最大速度	600mm/s
X軸	直線度	1.5μm全行程
Y軸	有效行程	310mm
	定位精度	2μm全行程
	分辨率	0.1μm
Z軸	有效行程	40mm
	單步步盡量	0.0001mm
	最大刀輪直徑	60mm或定制
T軸	轉(zhuǎn)動(dòng)角度范圍	380
主軸	最大轉(zhuǎn)速	60000rpm/min
主軸	額定輸出功率	直流（DC）1.5/1.8/2.4KW
基礎(chǔ)規(guī)格	電源	三相AC220V/50Hz
	壓縮空氣	0.5-0.6Mpa、Max420L/min
	切削水	0.2-0.3Mpa、Max 12L/min
	排風(fēng)流量	10m3/min
	尺寸（mm）	1288X1618X1810
	重量	2000kg